測定顕微鏡 段差・厚さ/表裏のズレ量測定 DH2・THS・THG/DCMシリーズ

ユニオン光学(株)〔ブースNo.D-13〕

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製品概要

 非接触段差測定装置「DH2(ハイソメットⅡ)」は,測定点の表面形状を観察しながら,測定点に投影されたターゲットマーク像の上下の縦線を水平方向に合致させるだけで,高さ,深さ,段差などの精密測定が誰でも可能です。

<用 途>
●あらゆる段差測定に! ガラス・鏡面・ワイヤー高さでも測定可能。
 非接触厚さ測定装置「THS」は,DH2の光学系を上下に配置し,非接触に挟み込む要領で厚さを測定します。
 空中像で厚さ0位置を検出し,サンプルの表裏面にフォーカスした際の変位量が厚さとなります。

<用 途>
●ダイヤフラム・CDスタンパなど
 非接触溝厚さ測定機「THG」は,缶蓋のスコア・リチウムイオン電池の防爆弁溝用などの厚さ測定に特化した廉価版です。
 両面位置確認顕微鏡「DCM」は,サンプルの表裏の画像を単独・光学的に合成することで,表裏のズレ量を高精度に測定することができます。

<用 途>
●MEMS・パワーデバイスなど

カタログ

お問い合わせ先

会社名 ユニオン光学(株)
ブースNo. D-13
担当
TEL/FAX TEL 03-5997-8531/FAX 03-5997-8532
E-mail new-union@union.co.jp
URL http://www.union.co.jp

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