製品概要

　近赤外の波長を基準に設計された光学系。
　Siウェハの透過観察や，樹脂の透過観察など，非破壊検査に有効です。

<MS-200-IR1700　結像レンズ仕様>
●焦点距離　　　　　f＝200
●照明方式　　　　　同軸照明
●カメラマウント　　Cマウント
●対応波長域　　　　900～1700nm

<SIS-150AIR　IR光源仕様>
●照射波長　　　　　400～1700nm
●ピーク波長　　　　1000nm
　波長選択バンドパスフィルター設置可能

<対物レンズ仕様>
●PEIRPlanシリーズ
　倍率：1X，2.5X，10X，20X，50X，100X
●PEIRPlan2000HRシリーズ
　2000nm以上で透過率80％以上の長波長対応
　倍率：20X，50X