製品概要

　レーザーオートフォーカスセンサーと電動Z軸付き光学ユニットを組み合わせた装置組み込み用のオートフォーカスユニットです。物体が移動中でもフォーカス動作を行えるため，FPD，半導体，バイオイメージングなどにおいて，高速に検査を行うことが可能です。
　光学ユニットは要求仕様に応じて，ご提案しますので，お気軽にご相談ください。

●基本ユニット
・専用光学ユニット
・フォーカスセンサーユニット
・コントローラ
・コントロールソフトウェア

●オプションユニット
・電動Z軸機構
・モータードライバ
・対物レンズ
・CCD/CMOSカメラ
・同軸LED照明／電源