製品概要

　白色干渉方式によるnmオーダーを実現する高精度3次元計測デバイス。素子内で超高速データ処理を行うheliotis社開発のセンサにより，白色干渉計の高精度をそのままに，インラインで使用可能な1ショットあたり数100msの高速計測を実現する。
　通常の画像処理では困難であった透明な液面やガラス，反射率の高い金属などの形状計測も，正確に計測することが可能。はんだボールの形状検査，コプラナリティ検査，レンズ表面形状検査，膜厚検査など，これまで困難とされてきたアプリケーションに適用可能。
　計測ヘッド型となっており，インラインにカメラを取り付けるような感覚で干渉計測を使用することが可能。

<H8シリーズ>
●Zステージエンコーダ分解能：1nm or 20nm
●水平分解能：0.24/0.48/1.2/2.4/3/6/12/40μm
●視野：0.259×0.246/0.648×0.641/1.296×1.229/1.62×1.54/3.24×3.07/6.48×6.41/12.9×12.3mm